物理分析・解析
表面・微小部分析、深さ方向分析
ＸＰＳ (X-ray Photoelectron Spectroscopy)
Ｘ線光電子分光法
写真１ 装置：アルバック・ファイ
【原理】
特定のエネルギーを有したＸ線（ｈν）を物質表面に照射し、そこから放出された光電子の運動エネルギー
（EKIN）を測定し、その電子が原子に束縛されていた結合エネルギー（EB）を求める。
EB＝ｈν－EKIN－φ
この結合エネルギー値は原子固有であり、さらに原子の結合状態によりわずかに変動する（化学シフト）。また光電子の強度はその原子の濃度と比例しているため、元素の同定、結合状態の推定、構成元素の比率を求めることが可能である。
【適用分野】
金属、半導体、無機、有機、高分子など全ての材料の表面分析
【特徴】
- 検出可能元素：Li以降の全元素
- 検出下限：0.1～1原子％（元素により異なるが、一般に原子番号の大きい元素の感度が高い）
- X線ビーム径：最小9μｍφ（従来のXPSでは数mmであったが、当社ではμ－ESCA｛図１｝を使用しているためX線ビーム径を絞ることが可能。→試料の狭い領域のみの分析が可能）
- エネルギー分解能：最高0.5ｅＶ（Ａｇ3ｄ5／2）→高分解能状態分析が可能｛図２｝
- 深さ方向分析：1nm/min～50nm/min程度まで任意のピッチで測定可能
- 絶縁物分析：容易
- マッピング分析：可能
【装置概要】
- メーカ：アルバック・ファイ株式会社
- 型式：Quantera SXM
- ビーム径：最小9μｍφ、通常100～200μｍφ
- Ar＋イオンガン：0.1～5ｋｅＶ
- スパッタ速度：1nm/min～50nm/min
- 真空度：6.7ｘ10－8Pa
図２ ＰＥＴの高分解能状態分析
【参考】
つうしん２００１年 夏 No.３２号―業務紹介（走査型Ｘ線光電子分光分析装置（マイクロＥＳＣＡ）のご紹介）
ご質問、ご相談などございましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。
研究支援事業部・解析技術部・物理解析室
室長：池崎
営業担当：川島（つくばラボ）、新谷、田中
Mail: buturi@smt-co.com
- 本社：兵庫県尼崎市
- TEL: 06-6489-5777
- FAX: 06-6489-5759
- つくばラボ：茨城県つくば市
- TEL: 029-858-6175
- FAX: 029-858-6176