物理分析・解析
表面・微小部分析、深さ方向分析
EPMA (Electron Probe Micro Analysis)
電子線マイクロアナライザー
【原理】
装置の測定原理はＳＥＭ／ＥＤＸと同じであるが、通常ＥＰＭＡと呼ばれる装置は、ＳＥＭが試料表面の形状を観察し、構成成分は定性的に分析する装置であるのに対し、主に組成分析を正確に行うことを目的とされた装置である。そのためＸ線分析には波長分散型の検出装置（WDX：下図の右側)が用いられる。
【特徴】
- 分析方式：
- Ｘ線の波長により数種類の分光結晶を用いて分析する。
- 分析対象元素：
- Ｂ～Ｕ
- ｴﾈﾙｷﾞｰ分解能：
- ～10ｅＶ
- 分析限界濃度：
- Ｂ～Ｆ： 0.5～1wt%
- Ｎａ～Ｕ： 0.05wt%
- 定量分析精度：
- 0.1～0.2% 但し標準試料が必要
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研究支援事業部・解析技術部・物理解析室
室長：池崎
営業担当：川島（つくばラボ）、新谷、田中
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