物理分析・解析
形態観察
ＡＦＭ (Atomic Force Microscopy)
原子間力顕微鏡法
【原理】
シリコン等で作られた非常に微細な探針で試料表面を走査し、試料表面の凹凸を三次元的に計測する装置です。
方法は下図に示すように試料表面を走査する探針はカンチレバーに付けられており、カンチレバーは振動子で振動させています（タッピングモード）。
探針が試料に近づくと振動振幅が変わりますが、この変化をレーザで検出し、振幅が一定になるように、試料台のZ軸駆動圧電素子で調整します。試料台のX、Y軸を走査しながらZ軸の駆動圧電素子にかかる電圧を測定することで、試料表面の凹凸がナノオーダで観察することが可能となります。
【適用分野】
金属、半導体、絶縁体、有機物などあらゆる材料の表面形状や表面粗さの観察。
表面欠陥の観察。
【特徴】
- 最大スキャンエリア： 12μm
- 最大スキャン高さ： 2.5μm
- 最高分解能： 1Å
- 金属・半導体・絶縁体・有機材料などあらゆる固体材料の測定が可能
- 大気中で測定でき、特別な試料調整が不要
- ガラス板に蒸着した銀の膜の表面形状観察結果を右図に示す。
ご質問、ご相談などございましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。
研究支援事業部・解析技術部・物理解析室
室長：池崎
営業担当：川島（つくばラボ）、新谷、田中
Mail: buturi@smt-co.com
- 本社：兵庫県尼崎市
- TEL: 06-6489-5777
- FAX: 06-6489-5759
- つくばラボ：茨城県つくば市
- TEL: 029-858-6175
- FAX: 029-858-6176