化学分析
超微量分析
- 半導体関連材料（石英、シリコン等）表面不純物分析
試料や不純物に適した酸で表面の不純物を回収し、 ICP-MSやFLAASで濃度を測定します。 - 単結晶及び多結晶シリコン、合成石英中の不純物分析
試料を適切な酸で溶解し、溶液調整後、ICP-MSや FLAASで濃度を測定します。 - 高純度金属、セラミックス(ｱﾙﾐﾅ, 酸化ﾁﾀﾝ, 炭化珪素等)の微量不純物分析
試料の種類や不純物濃度、また必要とされる精度によりGD-MSで分析したり、 試料を溶解してICP-MSや FLAASで
濃度を測定します。 - 各種薄膜中不純物の深さ方向分析
GD-MSで深さ方向の分析をしたり、薄膜の種類や基板の種類により酸等で溶解し ICP-MSやFLAASで濃度を
測定します。 - 超純水、洗浄液等の陽イオン、陰イオン微量分析
試料の溶液調整後、イオンクロマトグラフで濃度測定を行います。 - 各種材料の溶出試験液中の微量元素分析
希望される溶出液や、条件で溶出した液を ICP-MSや FLAAS、またイオンクロマトグラフで濃度測定を行います。 - クリーンルームの雰囲気分析
インピンジャーで吸収されたクリーンルームの雰囲気成分を、ICP-MS、 FLAASやイオンクロマトグラフで濃度測定を
行います。 - 半導体材料、セラミックス材料からの微量発生ガス分析
TDS（高精度昇温脱離ガス質量分析装置）で分析します。 - 金属材料・非金属材料の成分元素・不純物の深さ方向分析
GD-OES（グロー放電発光分析装置）で迅速分析が可能です。
【主要装置】
- グロー放電質量分析装置（GD-MS）
- 誘導結合プラズマ質量分析装置（ICP-MS）
- 高分解能タイプ、四重極タイプ２機種）
- フレームレス原子吸光分析装置（FLAAS）
- イオンクロマトグラフ（IC）
- 高精度昇温脱離ガス質量分析装置（TDS）
- エアーサンプリングキット
- グロー放電発光分析装置 (GD-OES)
高分解能－誘導結合プラズマ
質量分析装置(HR-ICP-MS)
成分分析
- 金属（鉄鋼、銅合金、チタン合金、アルミ合金、各種ターゲット材、出土品など）の 組成分析
- 非金属（セラミックス、耐火物、土壌、鉱物、顔料、ガラス、出土品など）の 組成分析
- 水溶液、めっき液、廃液、排水、洗浄液の陽イオン、陰イオンの分析
- 各種めっき皮膜、薄膜組成の分析
【主要装置】
有機分析
- 有機ガス分析：
- アウトガス分析（室温～１００℃で発生する有機成分の分析、例えばクリーンルームに使用される部材等から発生する有機ガスの分析を行います。）
- 熱分解有機ガス分析（高温熱分解で生成するガスの分析。例えばセラミックス焼結時の有機バインダーの熱分解過程調査、高分子材料の高温での熱分解挙動調査など）
- 各種油分析（潤滑油や圧延油などの有機物成分の組成分析や劣化挙動を調査します。）
- 使用装置： GC/MS、TG/MS、HPLCなど
- 微量有機物分析：
- 付着物・異物分析（製品に付着した極少量の有機付着物や異物の分析。 例えば鋼板表面の汚れや電子部品の中の異物、また塗装鋼板の塗装膜中の異物など）
- 有機物の劣化挙動（酸化、摩擦等で劣化した有機物の分析。例えば軸受け材料の劣化挙動調査など）
- 使用装置：FT-IR、卓上傾斜切断機など
【主要装置】
顕微フーリエ変換赤外分光
光度計(μ-FT-IR)
ガスクロマトグラフ質量
分析装置(GC-MS)
高速液体クロマトグラフ
(HPLC)
熱天秤－質量分析装置
（TG-MS）
示差熱天秤－質量分析装置
（TG-DTA/MS）
環境分析
- グリーン調達関連材料分析（WEEE/RoHS , ELV指令対応）
- シックハウス分析（VOC, ホルムアルデヒド等）
特殊分析
- 鉄鋼中の非金属介在物、析出物、金属間化合物の同定及び定量分析
- 鋼中の拡散性水素分析
- 微小部の定性・定量、マッピング分析
- 加熱炉等の雰囲気分析 等
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研究支援事業部・解析技術部
分析技術室
担当：中、 遠藤 E-mail：
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