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化学分析

超微量分析

高精度昇温脱離ガス分析
TDS (Thermal Desorption Spectrometry)

【概　要】
試料を高真空容器内で加熱・昇温し、昇温中に試料から脱離、発生するガス成分を四重極質量分析計で検出する。

【装置構成図】

【装置仕様】

• 測定質量範囲： M/e=1～200 （イオン化方式：電子衝撃型）定量測定時は８質量数で選択可
• 加熱温度範囲： RT～1100℃
• 昇温速度： 10～120℃／min．
• 到達圧力： 1.33×10^-7 Pa（1×10^-9 Torr）程度
• 加熱機構： ハロゲンランプ及び集光ミラー

【特徴】

• 試料の表面及び内部から脱離するガス及び分子と発生温度、圧力との関係測定可能
• 試料からの発生ガス、脱離分子の定性及び定量（分子数）分析が可能
• 試料だけを加熱するため、バックグラウンドが低く、H₂, H₂O, CO, CO₂, O₂, N₂などの低質量分子の高感度分析(10¹⁴個以上）が可能

　

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