化学分析
成分分析
酸素・窒素分析計
【原理】
試料を黒鉛るつぼに入れ、He雰囲気中で加熱融解する。試料中の酸素は黒鉛るつぼと反応し、一酸化炭素（CO）を発生する。一酸化炭素は二酸化炭素（CO2）にまで酸化し、赤外線検出器で濃度を分析する。
一方窒素は、加熱溶融して生じた二酸化炭素や水分を吸収分離し、残った窒素を熱伝導度検出器で濃度を測定します
（下図）。
酸素・窒素分析計の概念図
【適用範囲】
- 金属材料
- 半導体材料
【特徴】
- 分析範囲：
- Ｏ;
- 0.05ppm～5.0％
- Ｎ；
- 0.05ppm～5.0％
- 分析精度：
- Ｏ；
- 0.25ppmまたは0.5％ＲＳＤのいずれかの大きい方
- Ｎ；
- 0.25ppmまたは0.5％ＲＳＤのいずれかの大きい方
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