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化学分析

成分分析

各種成膜層の組成分析

【概　要】

シリコンウエハー、石英、ポリカーボネイト基盤上に形成されたＰＶＤ薄膜の金属成分を酸またはアルカリで溶解し、それぞれの元素について定量する。

【分析】

1. 膜形成元素及び比率、膜厚、測定面積、要求精度の目標を参考に、溶解酸及び方法、希釈率、検量線の作成方法、測定方法を決定。

   測定方法

   ICP発光分光分析法

   ICP質量分析法

   原子吸光分析法

2. 単位面積当たりの各成分の絶対量（μg／cm²）を定量し、組成比（wt％又はatomic％）や膜厚（Å）に換算

【一般的手法】

２０００Å膜厚の薄膜（総付着量2～3mg／16cm²）

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