化学分析
成分分析
微小部蛍光Ｘ線分析装置
μ-XRF (Micro X-ray Fluorescence Spectrometer)
【原理】
物質に短波長のＸ線を照射すると物質の構成元素に特有の波長を持ったＸ線（蛍光Ｘ線）を放出します。
このＸ線の波長や強度を測定することで、物質を構成している元素の種類や濃度を知ることが出来ます。これを蛍光Ｘ線分析と言います。
本装置は照射するＸ線を特殊なモノキャピラリーチューブで細く絞っているため、試料表面および内部の元素の分布を詳細に見ることが出来ます。また試料内部を透過するＸ線を検出することにより、試料の内部構造を詳細に見ることが可能です。
【適用範囲】
あらゆる固体物質、液体
【特徴】
- 10μmの微小領域の蛍光X線分析が可能
- 透過X線観察により電子部品等の内部観察や構造解析が可能
- 試料の前処理が不要
- 非破壊で大気下で分析が可能
- 試料ステージを走査することで広範囲（100mmｘ100mm）の分析が可能
- 膜厚測定が可能
【分析例】
- 配線コネクターの分析例を示します。
コネクターの分析位置 |
透過Ｘ線による内部構造 |
樹脂内部の Cu 端子および 被服内の Cu 線を検出 |
配線被服樹脂中の Cl を検出 |
黒色配線被服樹脂中の Br を検出 |
合成像：赤Cu Kα 緑：Ni Kα 青：Br Kα |
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