化学分析
成分分析
微小部蛍光Ｘ線分析装置
(Micro X-Ray Fluorescence Spectrometry)
【概 要】
光学像から測定位置を指定してＸ線スペクトル、透過Ｘ線像、蛍光Ｘ線像(マッピング)を同時に測定・分析する装置。また専用フィルター付きのＸ線導管（Ｘ線照射径：φ1.2mm）では樹脂や金属に含まれる微量の有害元素(Cd､Pb､Cr､Hg､Br)が高感度に測定可能。
【装置外観】
【主な装置仕様】
- Ｘ線管：
- 最大50kV、１mA Rhターゲット
- Ｘ線導管：
- φ10μm およびφ1.2mm
- 集光素子：
- モノキャピラリー
- 蛍光Ｘ線検出器：
- 高純度Si検出器
- 検出元素：
- 原子番号 Na～U
- 最大走査範囲：
- 100 x 100mm
- 最大試料サイズ：
- 350 x 400 x t40mm
【特 徴】
| 特徴 | 適用例 |
|---|---|
| φ10μm微小領域の蛍光Ｘ線分析が可能 | 無機異物の分析 |
| 最大 10 x 10cm のマッピング分析が可能 | 配線基板の不良調査 |
| 透過Ｘ線の観察により電子部品等の内部監査や構造解析が可能 | 内部異物の存在確認 |
| 樹脂下の資料等の分析が可能 | 樹脂中の異物、袋内の試料 |
| 導電性・非導電性試料の大気下での測定が可能 | 繊維、生物、鉱石、スラグ等の分析 |
| FPM定量および検量線定量が可能 | 未知試料の組成分析 |
| WEEE/RoHS で回収・規制されている電気器具のCd、Pb、Hg等の検査が部品段位でできる | 電気製品の有害元素の有無を部品単位で判定 |
【測定例】
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営業担当：中、 遠藤
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