化学分析
超微量分析
誘導結合プラズマ質量分析法
ICP-MS (Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry)
【原理】
ICP-MSは下図に示しますように、試料溶液を噴霧器で霧状にし、これをArプラズマの中でイオンにします。
生成したイオンを質量分析計で分析することで試料溶液中の濃度が分かります。従って試料は溶液または固体試料を酸等に溶かしたものを用います。
質量分析計には磁場と電場を用いて質量を分離する二重収束型（高分解能ICP-MS: HR-ICP-MS）と四重極質量分析部を用いた四重極型ICP-MS: ICP-QMSがあります。
【適用分野】
- 超純水の分析
- 高純度試薬の分析
- 天然・合成石英中の不純物分析
- シリコンウェーハの表面分析
- 各種溶出試験液の分析
- クリーンルーム等の雰囲気分析
- 各種微量試料の不純物分析
【特徴】
- HR-ICP-MS
- 多元素同時分析可能（65元素／10分）
- 高分解能のため，Fe（ArO），Ca（Ar），K（ArH），P（NOH）等を分離し、高感度に分析可
- 定性分析可
- 比較的少量溶液で分析可（10ml～）
- 定量下限：0.01～50ppt（元素により異なる）
- ICP-QMS
- 多元素同時分析可能（60元素／分）
- Fe,Ca,K,P等の元素はそれぞれ ArO，Ar，ArH，NOHの妨害があり、高感度分析は不可
- 定性分析可
- 比較的少量溶液で分析可（5ml～）
- 定量下限：10～100ppt（元素により異なる）
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