化学分析
成分分析
水素分析計
【原理】
試料を黒鉛るつぼに入れ、Ar雰囲気中で加熱融解します。
そうすると一酸化炭素、水、窒素、水素が発生します。一酸化炭素は二酸化炭素に酸化し、吸収分離します。水も吸収剤で分離し、窒素は分離カラムで分離します。残った水素は熱伝導度検出器で濃度を測定します。（下図）
水素分析計の概念図
【適用範囲】
- 金属材料
- 半導体材料
【特徴】
- 分析範囲： 0.5ppm～0.02％
- 分析精度： 0.2ppm または 0.5％RSDのいずれか大きい方
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