特殊試験
レーザー顕微鏡を用いた微細形状測定技術
実施例
微小デバイスの熱変形測定
MEMS等の微小デバイスを、使用環境を想定した温度に昇温して
三次元形状を測定する。
腐食孔の定量的測定
腐食した表面の腐食孔形状および大きさ別定量解析を行う。
鳥瞰図としても表示できる。
コインの鳥瞰図撮影例
（↑画像クリックで拡大）
清浄度測定
非金属介在物等の異物を、色調の変化を用いて判別し、面積率を
求める。
また、オートステージを利用して、定量的二次元画像を得る。
測定方法
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住友金属テクノロジー株式会社 鉄道産機事業部
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