特殊試験
レーザー顕微鏡による微細形状測定
- 表面観察、非接触面での表面粗さ測定
縮小デバイスの熱変形測定技術
- サンプル形状：Φ１５ｍｍ以下
- 分解能：約０．３μｍ（長作動レンズ使用）
- 測定温度：常温～６００℃
測定サンプル例
図１ 熱による形状変化測定例
非金属介在物の清浄度測定技術
- 非金属介在物等の異物を色調の変化を用いて判別し、面積率を求める。
図２ 非金属介在物測定例
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