特殊試験
微小領域応力測定
―測定原理―
■測定方法
ナノスケール応力測定を行う方法の原理は、物質の表面に電子ビームを当てた際にX線や二次電子の発生とともに起こる発光を利用するものです。
この現象はカソードルミネッセンス（場合によりエレクトロルミネッセンス）と呼ばれ、発光には物質の構造に関する情報と力学的な情報が含まれています。
優れた分光器を開発し，効率よく発光を集めるデバイスを実現することにより光の周波数（波長）の変化（シフト）から応力を測定することが可能になります。これをピエゾカソードルミネッセンスと呼びます。これは従来レーザーによって物質の表面にエネルギーを当て、得られた発光のシフトの応力依存性がピエゾフォトルミネッセンスと呼ばれることから名付けられたものです。
レーザー光ではそのスポット径の制約から上図の(a)に示されるような1μmの空間分解能しか得られないが、走査型電子顕微鏡の鋭い電子ビームを使えば(b)に示されるようなナノメートルスケールの空間分解能を得ることができます。
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